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特殊密封结构，玻璃不易损坏
操作方便，无需培训即可使用
维护成本低，无需上门安装
本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜，仪器操作简单方便，是样品制备所必备的仪器。适用的靶材：金、铂、铬、银、钛、铜、镍、金钯合金等。
工作腔室 ： 内径Ф100 x 130毫米
载物台 ： 小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯
大载物台直径Ф60毫米
金靶尺寸 ： Ф58毫米
真空系统 ： 两级直联旋片真空泵
真空检测 ： 皮氏计
真空保护 ： 配有微量充气阀，用于调节离子流的大小
工作气体 ： 空气或氩气
