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多工位超高真空排气系统
该设备为无油超高真空系统,具有真空度高、控温精度高、升温速度快、可靠性强等特点,采用标准化设计并可提供定制化服务,广泛应用于红外与光电器件、航空航天、惯性导航、半导体、医疗仪器等领域。