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分子泵机组是一种清洁的高 ( 超高 ) 真空获得设备,这种设备是根据真空知识原理,主要由分子泵和机械泵组合成的真空获得系统。 本说明书中所述产品包括 FJ-80、FJ-150 和 FJ-300 三种基本型号,对应的分子泵抽速分别为 62L/s、140L/s 和 260L/s, 前级油泵抽速有 0.5L/s 和 3L/s,前级干泵抽速有 0.2L 和 2L/s。
产品可广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、实验室科研、电真空器件 制造及真空的各个领域。