主要技术参数：

1、加压罐本底真空度优于50Pa；

2、真空测量：   热偶计；

3、充气压力：   ≤1.0MPa；

4、加热温度：   125℃土5℃；

5、升温时间：从室温到125℃ ≤30分钟； 

6、工作电压：   220VDC   50Hz

7、仪器功率：   1.5KW    （加热功率：0.4KW）；

8、照明灯：     12VDC    10W；

9、氦气罐尺寸： 157×246，单位：mm ；

10、氮气罐尺寸：157×246，单位：mm ；

11、过滤油罐过滤颗粒大小：≤5；

氦气氟油加压检漏装置是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。该装置上装备有PLC(可编程程序控制器)，对整个检漏过程可以进行自动控制和运行，可有效防止误操作和提高检漏效率。而且在该设备的氮气罐上装有光电检测设备，可随时监测氮气罐内的油位。该设备自动化程度高，具有较高的可靠性。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用，可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。