HF-6A氟油平台
HF-6A氟油平台
自动化程度高， 操作便捷
全过程有数据监控，可实现数据存储和传输
可设置管理权限
有预约功能，提高工作效率
储油罐、氮气罐液位双指示，使用更加便捷
专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。
1.加压罐本底真空度优于50Pa
2.真空测量： 电阻规
3.充气压力： ≤0.8MPa
4.重氟油加热仪加热温度：125℃±5℃
5.电压： 220VAC±10％ 50Hz
6.仪器功率： 3KW (包含重氟油加热仪功率：2KW)
7.照明灯：LED 220VAC 5W×2
8.尺寸：
外 形 尺 寸：约L1200×W660×H1000mm
氦、氮气罐体:约φ256mm×H252mm
重 氟 油 箱:约L380mm×W200mm×H180mm（最大外形）
氟油平台与氦质谱检漏仪配套使用的，针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行密封性、可靠性检漏的专用设备，能完成GJB548B-2005的密封检测方法和GJB 128A-2021半导体分立器件试验方法里的,对半导体器件零件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。